PECVD系统炉

主要产品参数

电源：220V  50/60Hz

额定功率：7.1 KW

最高工作温度：1200℃（＜0.5 h）

连续工作温度：1100 ℃

推荐升温速率：≤10℃/min

加热区长度：加热区长度：900mm（三个温区段都为300mm）

热电偶：K型

外形尺寸：1675mm*645mm*865mm

炉体结构&温控

炉体结构&温控：采用双层壳体结构，并带有风冷系统；炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料，减少能量损失；内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命；三个温区分别有三个独立的温控系统控制；包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度±1℃；默认DB9PC通信连接端口；可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

加热元件

铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb

炉管尺寸

石英管口径可选φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

真空密封

标配：一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈

选配：为了更快的获得较高的真空度，建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计

法兰接口

为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接；多种接头可选，具体请咨询我公司销售经理

真空度

采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr；如您想获得更高的真空度（＜10-5torr or better）可选国产或进口高真空机组

可选

本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8*105至1125torr，不需因测量气体种类不同而需要转换系数

认证标准及核心零部件

CE、UL等认证，核心零部件有ABB、欧米茄、东明等采用ABB电器元件

售后

质保期一年，终身维护；24小时在线服务

注意事项

炉管内气压不得高于0.02MPA；由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉 管破裂，法兰飞出等)；气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min)

免责声明

本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等) 仅供参考。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺，我司会不定期完善产品，恕不另行通知，请您见谅

产品参数

电源：220V 50/60HZ

额定功率：23 W

流量计范围：1-100SCCM；1-200SCCM;1-500SCCM

有一机械压力表安装在前面板上，与混气管相连接

压力表量程:-0.1~0.15MPa

混气罐尺寸: φ80*120mm

气口/阀门

内部连接管道为Ø6.35

产品尺寸

外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

重量

约30KG

产品特点

适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管

气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便

采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸