CVD系统（高真空）

主要产品参数

电源：380V 50/60HZ

额定功率：11 KW

最高工作温度：1500℃（＜0.5h）

连续工作温度：1400 ℃以下≤10℃/min; 1400 ℃以上≤5℃/min;

推荐升温速率：≤10℃/min

加热区长度：600mm；  双温区长度300mm+300mm

炉体结构

炉体特点：采用双层壳体结构并带有风冷系统；炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，能减少能量损失

加热元件

硅碳棒

炉管尺寸

高纯石英管φ60、φ80、φ100（备注：炉子在使用前，炉管两端先放入管堵）

外形尺寸

1450mm(L)*500mm(W)*820mm（H）

重量

150KG

温控系统

控温方式：包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化50段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度：±1℃

真空密封

标配：一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈

选配：为了更快的获得较高的真空度，建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计

法兰接口

为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接；多种接头可选，具体请咨询我公司销售经理

真空度

采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr；如您想获得更高的真空度（＜10-5torr or better）可选国产或进口高真空机组

可选

本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8*105至1125torr，不需因测量气体种类不同而需要转换系数

认证标准及核心零部件

CE、UL等认证，核心零部件有ABB、欧米茄、东明等

售后

质保期一年，终身维护；24小时在线服务

特别声明：耗材部分如加热元件，石英管，坩埚等不包含在内

因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

炉管内气压不得高于0.02MPA；由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉 管破裂，法兰飞出等)

气体的流量应限制在<200   SCCM(或200ml/ min)

产品参数

电源：220V 50/60HZ

额定功率：23 W

流量计范围：1-100SCCM；1-200SCCM; 1-500SCCM；

有一机械压力表安装在前面板上，与混气管相连接

压力表量程:-0.1~0.15MPa

混气罐尺寸: φ80*120mm

气口/阀门

内部连接管道为Ø6.35

产品尺寸

外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

重量

约30KG

产品特点

适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管

气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便

采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸

主要参数

Ø  电源：220V 50/60HZ

Ø  额定功率：2KW

Ø  工作原理：前级泵次级泵交互泵组

Ø  最高真空度：5*10-5Pa

Ø  启动方式：一键启动

真空分子泵

Ø  型号：JTFB-300F；

Ø  抽速：300L/S；

Ø  其他：刀口法兰、风扇、线缆等

前级泵（机械泵）

Ø  型号：TRP-12；

Ø  抽速：12立方/小时双级旋片

分子泵控制器

Ø  一键式启动；

Ø  控制器集成电源；

Ø  带频率显示控制器；

降温模块设备

风扇风冷模组

线缆

2米长驱动线缆及电源线缆

复合真空计

Ø  型号：ZDF5227AX

Ø  测量范围：1.0×105~1*10-5Pa

Ø  其他：含真空计数据线缆等

泵组连接管

不锈钢波纹管，2根

气路控制

Ø  高真空挡板阀

Ø  型号：GD-J25/KF

泵组壳体

风冷泵组专用机架

售后

Ø  质保期一年，终身维护，24小时在线服务

Ø  特别提示：耗材部分如加热元件、坩埚等不包括在内