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    OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑动开启式PECVD系统。此款成套设备配有等离子射频电源，三路质量流量混气系统（量程为1-100SCCM， 1-200SCCM，1-200SCCM），直径为60mm的开启式管式炉（带真空法兰和连接管道）及机械泵组成。
    更新时间：2025-01-08型号：OYS-1200C-II-60-PECVD厂商性质：生产厂家
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